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离子注入
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Ai350HT型离子注入机采用成熟的光路单元技术。光路系统主要包括离子源、引出系统、质量分析器、磁透镜、加速管、静电扫描、平行透镜、靶室和片库等。配置高温加热靶台,金属Al离子源,全自动晶片传输系统。

更新时间:2025-01-14 直达:gzaien.com

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